ICP、ICP-MS幾乎可以有效的分析所有元素，因此被廣泛的使用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、核工業(yè)領(lǐng)域、以及環(huán)境樣品的元素分析。尤其是ICP-MS，由于可以進(jìn)行極微量的金屬分析，所以使用的超純水中的金屬元素必須控制在極低的水平。

超純水系統(tǒng)的純化方法中，用來去除離子的是離子交換樹脂，因此維持樹脂的交換能力是很重要的。離子交換樹脂除了會(huì)因?yàn)楣倌軋F(tuán)飽和造成去除能力降低以外，樹脂表面也會(huì)發(fā)生有機(jī)物與微生物的附著，所以在離子交換樹脂的前期處理程序中，最好使用紫外燈來氧化分解有機(jī)物質(zhì)，以防止樹脂被污染。此外，為了盡早發(fā)覺樹脂的劣化，可以在前段的離子交換樹脂后裝上電阻率檢測(cè)儀，以檢測(cè)水質(zhì)的變化。這種超純水系統(tǒng)的組合，對(duì)水中所含元素的檢測(cè)靈敏儀度可達(dá)ppt級(jí)。

在影響ICP-MS分析的諸多因素中，最主要的是容器的清潔度以及溶出這兩個(gè)因素。當(dāng)我們進(jìn)行痕量無機(jī)離子分析時(shí)，必須使用高純度且金屬離子溶出極低的容器。關(guān)于其他的技術(shù)問題，如噴霧器產(chǎn)生氣泡想象，以及K、Ca等離子的檢測(cè)訊號(hào)會(huì)受到Ar的影響，可以通過去除水中的溶解氣體來解決。

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