HD-2700帶有球差校正的場發(fā)射掃描透射電子顯微鏡

    電鏡球差校正技術(shù)的實(shí)用化，使得同時(shí)進(jìn)行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立高新技術(shù)公司與CEOS公司共同的努力，成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。
    HD-2700通過球差校正，用大會(huì)聚角獲得了亞納米級(jí)電子束，在分辨率和分析性能獲得重大的進(jìn)步。
    HD-2700共有三種型號(hào)，分別是配有球差校正的高分辨型和標(biāo)準(zhǔn)型，以及無球差校正型，可根據(jù)應(yīng)用需求選擇。

特點(diǎn)：
1. 高分辨觀察
*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DFSTEM像（標(biāo)準(zhǔn)型）
2.增加了探針電流(約為非校正的STEM探針電流的10倍)，可以進(jìn)行高速、高靈敏度能譜分析
*可以在更短的時(shí)間內(nèi)獲得元素的面分布圖
*檢測微量元素成為可能
3.簡化的操作
*提供了專用的GUI自動(dòng)調(diào)節(jié)球差校正器
4.整體的解決方案
*樣品桿與日立FIB兼容，提供了納米尺度的整體解決方案：從制樣到數(shù)據(jù)獲得和最終分析
5.多種評(píng)價(jià)/分析功能可選
*同時(shí)獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配備ELV-2000型實(shí)時(shí)元素Mapping系統(tǒng)(DF-STEM像可以同時(shí)獲得)
*實(shí)時(shí)衍射(DF-STEM像和衍射像可以同時(shí)觀察)
*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染
*可以配備超微柱頭樣品桿進(jìn)行三維分析(360度旋轉(zhuǎn))
*精確的放大倍率校準(zhǔn)功能

技術(shù)指標(biāo)：