Hitachi日立 S-4800冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
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S-4800冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
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| 產(chǎn)品介紹： |
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S-4800高分辨冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
日立S4800掃描電子顯微鏡采用大樣品室的半內(nèi)透鏡設(shè)計，卻能達(dá)到超高分辨率，可以與內(nèi)透鏡UHR掃描電鏡相媲美。
特點：
1. 新型物鏡采用專利的ExB設(shè)計。使用單檢測器和超級ExB可以分別收集和分離單純
二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號。
2. 1KV低加速電壓時保證有2.0nm的分辨率。
3. 兩種樣品臺可選：I型50mm x 50mm小樣品臺或Ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺。
4. 包括渦輪分子泵在內(nèi)的先進(jìn)的真空系統(tǒng)。
5. 便于用戶使用的、基于圖形用戶界面的控制系統(tǒng)，包含多種自動功能，操作簡易
性能指標(biāo)：
| 二次電子分辨率 |
1.0nm (15kV)
2.0nm (1 kV)
1.4nm (1 kV，減速模式) |
| 電子槍 |
冷場發(fā)射電子源 |
| 加速電壓 |
0.5~30kV(0.1KV/步，可變) |
| 放大倍率 |
x 20~ x 800,000 |
| 物鏡光闌 |
4孔，真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器) |
| 檢測器 |
二次電子檢測器 (高位/低位)
背散射電子檢測器(可選)
EDX(可選)
透射電子檢測器(可選)
法拉第杯(可選) |
| 樣品臺 |
l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5°~70°R:360° 驅(qū)動:手動(可選3軸/5軸馬達(dá)驅(qū)動)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5°~ 70°
R: 360°驅(qū)動: 5軸馬達(dá)驅(qū)動 |
| 操作/顯示 |
操作系統(tǒng)： WindowsTM XP |
| 圖像儲存 |
640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840 |
圖像編輯
圖像文件格式 |
內(nèi)置圖像處理軟件和圖像編輯軟件
BMP, TIFF, JPEG |
| 掃描速度 |
TV/慢速 (0.5 ~ 40 s/幀) 用于觀察
慢速 (40 ~ 320 s/幀) 用于記錄 |
| 自動數(shù)據(jù)記錄 |
膠卷號，加速電壓，微米標(biāo)尺，放大
倍率，日期，時間，工作距離 |
| 電子圖像移動 |
±12µm ( W.D. = 8 mm) |
| 真空系統(tǒng) |
自動調(diào)節(jié)
離子泵 3 臺
渦輪分子泵(磁浮型) 1 臺
機械泵 1 臺 |
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