Hitachi日立 SU1510掃描電子顯微鏡
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SU1510掃描電子顯微鏡
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| 產品介紹： |
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SU1510掃描電子顯微鏡
主機寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
特點
1. 儀器主體比過去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場地。
2. 標配低真空功能，可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。
3. 可載入最大直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進行元素分析。
4. 強大的鼠標控制功能，可實現(xiàn)電鏡的所有操作。
5. 分子泵真空系統(tǒng)，潔凈無污染。
| 項目 |
內容 |
| 二次電子分辨率 |
3.0nm（高真空，30kV） |
| 背散射電子分辨率 |
4.0nm(低真空：6Pa，30kV） |
| 倍率 |
5～300,000倍 |
| 加速電圧 |
0.3～30 kV |
| 樣品臺 |
X 0～80 mm
Y 0～40 mm
Z 5～50 mm
T -20°～ 90°
R 360° |
| 樣品臺控制 |
手動（可選：2軸馬達） |
| 最大載入樣品尺寸 |
直徑：153 mm |
| 最大觀察范圍 |
直徑：126 mm（XYR并用） |
| 最大樣品高度 |
60 mm（WD=15 mm） |
| 低真空范圍 |
6-270Pa(從菜單設定) |
| 燈絲 |
預對中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 |
4孔可變光闌 |
| 槍偏壓 |
固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓 |
| 檢測器 |
二次電子檢測器，高靈敏度半導體背散射電子檢測器 |
| EDX分析位置 |
WD=15,TOA=35° |
| 真空系統(tǒng) |
分子泵1臺，機械泵1臺 |
| 安全措施 |
停電，漏電，自動保護 |
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