高度可靠性
適應(yīng)范圍廣、搭配靈活
對應(yīng)多種尺寸組合
我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應(yīng)小于150 mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據(jù)檢查模式，選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。
晶圓尺寸•厚度對應(yīng)表
薄片檢查
對應(yīng)薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。
高度實用性
進一步優(yōu)化的宏觀檢查
背面宏觀360゜旋轉(zhuǎn) |
- 宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。
- 利用360゜旋轉(zhuǎn)功能，完全可以目視檢查整個晶圓（包括邊緣）。此外，在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓最大傾斜30゜進行觀察。
|
操作便捷
- 為了滿足各種常規(guī)檢查的要求，AL120可以登記多達(dá)10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
- 晶圓搬送機的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT，便于操作者再次確認(rèn)。
- AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。
高度可靠性
優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全
- 為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計。
- 在安全性和人機工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。
堅固、耐用的顯微鏡底座
AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實現(xiàn)了卓越的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上。
人機工程學(xué)設(shè)計的載物臺
- 手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
- 可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺，進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。
| 晶圓搬送機 AL120 規(guī)格 |
| |
200 mm專用型 |
200 mm/150 mm 兼用型 |
150 mm型 |
AL120-
LMB8-
90 |
AL120-
LMB86-
180 |
AL120-
L86-
180 |
AL120-
LMB86 |
AL120-
L86 |
AL120-
LMB6-
150 |
AL120-
L6-
150 |
| 晶圓尺寸（SEMI規(guī)格） |
200mm |
200mm / 150mm |
150mm /
125mm /
100mm |
| 晶圓最小厚度 |
90µm |
180µm |
400µm |
150µm |
| 片盒類型* |
SEMI規(guī)格：25（26）個slot |
| 片盒數(shù) |
1 |
| 檢查模式 |
全部檢查／抽樣檢查 |
| 搬運順序 |
微觀檢查（顯微鏡檢查） |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
| 表面宏觀檢查 |
○ |
○ |
|
○ |
|
○ |
|
| 背面宏觀檢查 |
○ |
○ |
|
○ |
|
○ |
|
| 二次背面宏觀檢查 |
○ |
○ |
|
○ |
|
○ |
|
| 晶圓定位（每 90º） |
非接觸（定位平邊／V型槽） |
非接觸（定位平邊） |
| 適配顯微鏡型號 |
奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61 |
| 尺寸（mm） |
主機部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配備顯微鏡時：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) |
主機部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配備顯微鏡時：980 (W) × 620 (D) × 400 (H) |
| 重量（kg）（僅主機部分） |
44 |
44 |
41 |
44 |
41 |
40 |
37 |
| 使用環(huán)境（電源／真空） |
AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上 |
* 最多可登記10種片盒