始終提供最佳觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
強大的缺陷檢查能力
采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2），特別增強了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認缺陷的能力。明視場圖像的色溫最佳化，實現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。
自動調(diào)節(jié)最佳亮度
亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖 |
物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。 |
對應(yīng)各種設(shè)備的實時AF
深紫外線觀察用物鏡 |
MX61A裝載了在對焦精度、對焦速度上性能優(yōu)越的動態(tài)AF。新開發(fā)的多點方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對焦時的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實現(xiàn)了追蹤觀察位置的實時對焦。 |
對應(yīng)多種觀察方法
物鏡UIS2系列產(chǎn)品 |
在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合，可以在一臺顯微鏡上進行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。
觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。 |
提供擴展性的解決方案
提供擴展性的解決方案
適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模塊 |
"顯微鏡控制軟件"作為核心對MX61A系統(tǒng)全體進行控制。這個應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數(shù)碼照相機、電動載物臺等外圍設(shè)備。一直以來，必需進行若干個操作才能實現(xiàn)的高級觀察方法、深紫外線觀察等的切換，只要一次點擊就能順利完成。該軟件進一步拓展了MX61A的擴張性，滿足了不斷變化的分析需求。 |
顯微鏡控制軟件 MX2-BSW
顯微鏡控制軟件顯示畫面 |
顯微鏡控制軟件MX2-BSW不僅能進行各種顯微鏡控制和AF，還能綜合控制深紫外線觀察單元和電動載物臺*1等。對于數(shù)碼照相機*2，能夠控制它的觀察和記錄。觀看實況影像時單擊需觀察的地方，快速移動到視場中心、實況計量和檢測、影像記錄等一系列作業(yè)就能容易的得以實現(xiàn)。
*1對應(yīng)本公司推薦的電動載物臺
*2對應(yīng)奧林巴斯DP21或本公司推薦的IEEE1394數(shù)碼照相機
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實現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化
符合SEMI S2/S8標準
符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)安全的基準），S8-0705（有關(guān)人體工程學(xué)的基準）和CE標識（歐洲強制性認證）等的國際標準。符合人體工程學(xué)和安全對策等，高水準的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒
傾斜觀察筒示意圖 |
備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒?？梢愿鶕?jù)用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。 |
潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器
潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器 |
備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉(zhuǎn)換器。
6孔和5孔中心補正型號的明暗視場電動物鏡轉(zhuǎn)換器，采用了新型馬達，實現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。 |
高抗振本體
高倍率觀察圖像示意圖 |
采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機架。即便是高倍率觀察，也不會出現(xiàn)影像模糊的情況。 |
可以觸摸屏操作的手控開關(guān)
手控開關(guān)操作部 |
配備了觸摸屏操作的手控開關(guān)，可以在檢查時執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的最合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時的載物臺退出均可以執(zhí)行。 |
幫助實現(xiàn)多種觀察的附件
晶圓搬送機組合
晶圓搬送機 |
可以對應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實現(xiàn)了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。 |
自動載物臺組合
自動載物臺 |
備有對應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動載物臺。通過PC控制，可以實現(xiàn)高級檢查、不良分析功能。 |
| 全自動半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61A 規(guī)格 |
| 光學(xué)系統(tǒng) |
UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠校正） |
| 機身 |
觀察方法 |
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 |
| 反射/透射 |
反射 |
| 照明裝置 |
機身一體型（明視場、暗視場＋1選件） |
| 照明系統(tǒng) |
反射照明 |
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 |
| 透射照明 |
- |
| 對焦單元 |
電動/手動 |
電動 |
| 行程 |
25.4 mm |
| 分辨率/微調(diào)靈敏度 |
分辨率0.01 μm |
| 最大樣本高度 |
24 mm |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 |
電動型 |
明視場微分干涉6孔 |
| 明暗視場微分干涉5孔 |
| 明暗視場微分干涉6孔 |
| 明暗視場微分干涉中心補正5孔 |
| 手動式 |
- |
| 載物臺 |
行程 |
14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm |
| 觀察筒 |
廣角視場（視場數(shù)22） |
倒置 |
- |
| 正像 |
- |
| 超寬視場（視場數(shù)26.5） |
倒置 |
- |
| 正像 |
傾斜三目觀察筒 |
| 附件單元 |
自動調(diào)焦/DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 |
| 外形尺寸 |
711（W）×853（D）×552（H）mm（標準組合） |
| 重量 |
56 kg（標準組合） |