考慮了檢查效率的設計
主要操作集中配置在前面板上
前面板
[1] 照明強度旋鈕
[2] 物鏡倍率切換
[3] 孔徑光闌調(diào)節(jié)
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在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。 |
觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒
傾斜鏡筒示意圖 |
為了適應視點而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。 |
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
內(nèi)置離合器的載物臺手柄 |
對應300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。 |
鮮明圖像和卓越的分辨率為特點的光學系
多種選擇可實現(xiàn)卓越的成像性能
物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。
軟件方案
實現(xiàn)數(shù)字成像
MX61L配備了PC界面，可以讀取顯微鏡的電動功能。因此，捕獲影像時可以自動保存物鏡倍率，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。
使用數(shù)碼照相機記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機。
支持缺陷檢測的多種功能
快速切換物鏡，提高檢查速度
電動物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 |
電動物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。 |
變換物鏡，孔徑光闌（AS）也隨之調(diào)節(jié)
AS自動調(diào)節(jié)示意圖 |
每次變換物鏡時都需要調(diào)節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS（14級），只要切換物鏡就能以最合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調(diào)節(jié)AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。 |
幫助實現(xiàn)多種觀察的附件
安全快速的搬運晶圓
自動晶圓搬送機AL110（200 mm規(guī)格）組合 |
MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內(nèi)面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。 |
近紅外線觀察單元
由可見光線領域到近紅外線領域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，對應近紅外線的裝置備有各種型號。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。
透射照明單元
透射照明單元 |
對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號兩種型號。 |
| MX61 |
| 光學系統(tǒng) |
UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正） |
| 機身 |
觀察方法 |
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 |
| 反射/透射 |
反射/透射 |
| 照明裝置 |
機身一體型（明視場，暗視場＋1選件） |
| 照明系統(tǒng) |
反射照明 |
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 |
| 透射照明 |
纖維光導 |
| 對焦單元 |
電動/手動 |
手動 |
| 行程 |
32 mm |
| 分辨率/微調(diào)靈敏度 |
微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動1周移動0.1 mm |
| 最大樣本高度 |
30 mm |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 |
電動型 |
明視場微分干涉6孔 |
| 明暗視場微分干涉5孔 |
| 明暗視場微分干涉6孔 |
| 明暗視場微分干涉中心輸出5孔 |
| 手動式 |
- |
| 載物臺 |
行程 |
14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范圍356×284 mm） |
8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范圍189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm |
| 觀察筒 |
廣角視場
（視場數(shù)22） |
倒置 |
雙目/三目觀察筒 |
| 正像 |
三目觀察筒 |
超寬視場
（視場數(shù)26.5） |
倒置 |
三目觀察筒 |
| 正像 |
傾斜三目觀察筒 |
| 附件單元 |
DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 |
| 外形尺寸 |
710（W）×843（D）×507（H）mm
（標準組合） |
509（W）×843（D）×507（H）mm
（標準組合） |
| 重量 |
51 kg（標準組合） |
40 kg（標準組合） |