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型號：IM150
*可兼容射頻離子源RF50或RF150的真空系統(tǒng)（未烘烤下的真空度可達(dá)到10-8 mbar）
*配備角度可調(diào)且可旋轉(zhuǎn)的水冷樣品架
*便捷的前門裝載基片方式
*離子束拋光真空系統(tǒng)依客戶應(yīng)用要求可實現(xiàn)多元化配置組合
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型號：IM150
*可兼容射頻離子源RF50或RF150的真空系統(tǒng)（未烘烤下的真空度可達(dá)到10-8 mbar）
*配備角度可調(diào)且可旋轉(zhuǎn)的水冷樣品架
*便捷的前門裝載基片方式
**離子束拋光真空系統(tǒng)依客戶應(yīng)用要求可實現(xiàn)多元化配置組合